Інтэграваны вымяральнік таўшчыні і плоскасці CDM

Прыкладанні

Працэс нанясення пакрыцця: выяўленне дробных асаблівасцей электрода ў рэжыме рэальнага часу; распаўсюджаныя дробныя асаблівасці электрода: святочнае галаданне (адсутнасць уцечкі токазборніка, невялікая розніца шэрага колеру з нармальнай зонай пакрыцця, няўдача ідэнтыфікацыі CCD), драпіна, контур таўшчыні зоны патанчэння, выяўленне таўшчыні AT9 і г.д.

Дашліце нам ліст

Падрабязнасці прадукту

Тэгі прадукту

Прынцыпы вымярэння

Прынцыпы вымярэння павярхоўнай шчыльнасці

Метад паглынання рэнтгенаўскіх/β-прамянёў

Прынцыпы вымярэння таўшчыні

Карэляцыя і лазерная трыянгуляцыя

Тэхнічныя характарыстыкі выпрабаванняў CDM

Сцэнар 1: На паверхні электрода ёсць пустэча/недахоп шырынёй 2 мм, і адзін край таўсцейшы (сіняя лінія, як паказана ніжэй). Калі пляма прамяня складае 40 мм, уплыў формы вымераных зыходных дадзеных (аранжавая лінія, як паказана ніжэй) выглядае відавочна меншым.

Сцэнар 2: дадзеныя профілю зоны дынамічнага прарэджвання, шырыня дадзеных 0,1 мм

Праграмныя функцыі

Тэхнічныя параметры

Імя	Індэксы
Хуткасць сканавання	0-18 м/мін
Частата дыскрэтызацыі	Павярхоўная шчыльнасць: 200 кГц; таўшчыня: 50 кГц
Дыяпазон вымярэння павярхоўнай шчыльнасці	Павярхоўная шчыльнасць: 10~1000 г/м²; таўшчыня: 0~3000 мкм;
Паўтарэнне вымярэнняў дакладнасць	Павярхоўная шчыльнасць: Інтэграл 16s: ±2σ: ≤±сапраўднае значэнне * 0,2‰ або ±0,06 г/м²; ±3σ: ≤±сапраўднае значэнне * 0,25 ‰ або +0,08 г/м²; Інтэграл 4s: ±2σ: ≤±сапраўднае значэнне * 0,4‰ або ±0,12 г/м²; ±3σ: ≤±сапраўднае значэнне * 0,6‰ або ±0,18 г/м²;Таўшчыня: Зона 10 мм: ±3σ: ≤±0,3 мкм; зона 1 мм: ±3σ: ≤±0,5 мкм; Зона 0,1 мм: ±3σ: ≤±0,8 мкм;
Карэляцыя R2	Павярхоўная шчыльнасць >99%; таўшчыня >98%;
Лазерная пляма	25*1400 мкм
Клас радыяцыйнай абароны	Нацыянальны стандарт бяспекі GB 18871-2002 (вызваленне ад радыяцыі)
Тэрмін службы радыеактыўных крыніца	β-выпраменьванне: 10,7 гадоў (перыяд паўраспаду Kr85); рэнтгенаўскае выпраменьванне: > 5 гадоў
Час водгуку вымярэння	Павярхоўная шчыльнасць < 1 м²; таўшчыня < 0,1 м²;
Агульная магутнасць	<3 кВт